Cell的基本操作介绍
下面简单介绍下NAND cell的基本操作,有三类:Read(读),Program(写),Erase(擦)。
读取操作(Read)
我们从最简单的SLC来讲。它能存储两个状态0和1。我们知道Cell存储信息的原理,是把电子注入或清出FG。因此,在已擦除状态下,FG里的电子清出,留下正电荷;而写入状态下,FG里注入了电子,储存了负电荷。
检测FG里是否存有电子,是通过沟道里是否有Cell电流 I_cell 来判断的。在CG电压为零时,V_gate=0V,如FG是擦除状态,带正电,那么沟道相当于已经有正压,是开启状态有电流通过,状态为“1”。相反,如果FG被写入电子,带负电,则沟道关闭,没有 I_cell 电流,状态为“0”。
Cell read operation
前篇提过,读操作是以Page为单位的,对应同一条WL上(Row)的所有Cell。待读取的WL,是0V,其余WL加V_passR (6V),使得不读取的Cell沟道打开。这里V_passR还会造成Read disturb,将来会说到。
写入(Program)和擦除(Erase)操作
NAND写入操作时,电子注入FG的方式是Fowler-Nordheim(FN)injection。擦除操作时,老式NAND采用Drain FN ejection,现在的NAND采用Channel FN ejection。FN tunneling是一种量子隧穿效应,需要施加的电压更小,电流和功耗很低,对氧化层的损伤更小。
写入Cell时,CG施加电压V_pgm,substrate/source/drain都保持0V。电子通过FN隧穿进入FG,导致cell Vt升高(变正)。Cell Vt变化多少,与CG上施加的电压大小和时长成正比。写入也是以Page为单位,即同一条WL上的Cell同时写入。具体做法是在CG加V_pgm前,先把要写入的数据置于BL上。数据“0”的BL电压为0V,正常写入后Cell Vt变大(2V)。数据“1”的BL上施加V_cc,Cell进入Program inhibit模式,此时沟道电压为V_boost = V_cc - Vt。V_boost降低了CG和channel间的电势差,阻止FN隧穿,使得Cell Vt保持擦除状态(-3V)。不写入的WL,施加V_pass,将沟道打开。至此,一页Page数据写入完成。写入后,会进行写入验证,操作与Read几乎相同,完成的Cell自动进入Program inhibit模式,未达标的Cell进入下一个写入-验证周期。整个Block的写入顺序通常是从Source到Drain,逐条Row (WL0 -> WL31)写入。
擦除时,CG保持0V,substrate(p-well)上施加V_era,将电子清出FG,Cell Vt降低(变负)。擦除操作以Block为单位,整个block的WL接地0V,擦除脉冲(20V)施加到p-well和n-well上。不擦除的Block将WL floating,则Channel和CG的电势差不足以擦除,数据得以保留。NAND不在乎over-erasure,所以一般FG会带正电,Cell Vt到(-3V)。完成擦除后,会立即验证,CG加0V,Source加Vcc,Drain加0V。然后使Drain Floating,如果有Cell没有擦除完成,那么对应String没全部打开,Drain对应BL回不到高电平,则重复擦除操作。
增量步进脉冲编程Incremental Step Pulse Programming (ISSP)
NAND写入的一个重要技术是ISSP,可以有效降低Cell Vt的分布发散,解决工艺和环境影响Cell的快速写入问题。事实上,由于制造工艺和使用环境的影响,Cell与Cell之间有些许差异,有的Cell写入偏快,有的Cell写入偏慢。所以,在一次固定脉冲和时长的写入操作后,一页Page的Cell Vt也会有发散,有的Cell还没到需要的Vt,而有的Cell已经注入了过量电子。为了避免过量注入,就只能用较小的写入脉冲去尝试,但这样写入速度就被最慢的Cell拖累。
ISSP技术通过多次脉冲-验证周期,逐次提高脉冲幅度,来减少写入-验证周期,提高效率。具体来说,初始写入脉冲为15.5V,之后每次增加0.5V,直到20V。因为FN隧穿概率与电压之间是指数级的关系,所以通过一次1V增量的ISSP,可以达到5次固定脉冲的效果。ISSP实现了Cell Vt分布和写入效率的优化,也提高了Cell的良率。