NAND Flash原理
先整体看一下NAND Flash。最小的存储单元是一个Cell,32个Cell连成一条String,很多条String排列成一个Block,就是一块存储阵列。
Single Cell 示意图单个Cell由Nch MOS加上Floating gate(FG)构成。电荷信息存储在FG中,FG的电位由Control gate(CG)来控制。
一条String中32个Cell的Source和Drain首尾相接连成一串,Drain端接到Bit Line (BL) 由SGD隔离和控制,Source端接到source line(SL)由SGS控制。
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整块存储阵列,Active area line(横向)与Gate line(纵向)相互垂直。同一个String的Cell在一条AA上,接同一BL。CG横跨多个String,共享CG的Cell接同一Word line (WL)。这样一来,如同棋盘的格点,由BL+WL的交点,就可以定位到某一个Cell。
那么,同一条WL上的Cell,从逻辑上构成了一个Page,也就是NAND读写的基本单位。前面提到很多条Sting排列成Block,这里的条数,就是Page的大小,通常有2K~16K+ECC。Page越大,并行的读写效率越高,但对应的读写电路也要越大。
NAND flash芯片除了Cell部分,还有Peripheral器件。外围电路有逻辑(1.8V)和驱动(26V),因此要求多种电压的器件。对于高压器件,要用到更厚的Gate oxide (25~40nm),被用于Row decoder/word-line driver和bit-line selector。外围电路而且为了节省成本,外围电路的制造,应该与Cell同时完成,尽可能不增加工艺步骤。
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作者:Sanxdel链接:https://zhuanlan.zhihu.com/p/1946154917942268996来源:知乎