学习资料 | 国产半导体设备:高能氢离子注入机

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近日，中核集团中国原子能科学研究院宣布研制成功我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H），并实现成功出束，核心指标达到国际先进水平。

离子注入机是半导体制造“四大核心装备”之一，负责通过精 准注入离子改变半导体材料电学特性，是功率半导体制造的刚需设备。

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