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学习笔记之半导体泛半导体01
2026-01-11 17:01:30
学习笔记之半导体泛半导体01
笔者多年的工作经验:不理解产品与工艺,几乎不可能把知识产权法律工作做到位。很多情况下,我要知道技术在解决什么问题,技术的价值体现在哪里,风险又有可能在哪里。无论是专利侵权、商业秘密治理,还是技术交易与合规,最终都绕不开对产品的基本认知。
最近在一个项目中接触到探针卡(Probe Card),索性把自己补课、消化下来的一些产品认知,遇到一点记一点,简单记录。
(欢迎纠错,欢迎拍砖)
先说作为律师的直觉。
探针卡很精细(针又细又多,装配要求高),技术细节高度集中,工艺know-how 与制造经验占比高。看过一些视频,根据测试需求,一张探针卡可能需要装配数百到数万支探针。只要其中一支探针偏离几微米,就可能导致整张探针卡无法使用,而且所有探针必须保持在同一水平面。
一、探针卡是什么?
DRAM探针卡是一种用于半导体制造流程中的专用测试接口硬件。它的核心功能是在DRAM(动态随机存取存储器)芯片尚未从晶圆上切割下来时,对其完成电性能和功能测试。
探针卡核心部件是数百根微米级金属探针,细到和头发丝差不多(或者更细吧)。探针的排列位置,和晶圆(未切割的半导体母片,上面布满了成百上千个DRAM芯片)上的芯片焊盘精准匹配,用于测试。
从产业位置看,探针卡应用于半导体生产流程中的晶圆测试(Wafer Test)阶段,是消耗型硬件。
我理解的产业流程:晶圆制造→ 晶圆测试(探针卡)→ 切割→ 封装→ 成品测试。作为晶圆制造与芯片封装之间的重要节点,晶圆测试主要用于发现芯片制造缺陷,验证芯片功能与性能,为后续设计优化和制造改进提供反馈。
测试完成后,合格的芯片将进入后续的切割、封装流程,成为独立的内存颗粒。而被标记为不合格的芯片则会被废弃,从而避免为不良品支付不必要的封装成本。
二、探针卡的工作原理
从功能角度看,探针卡是晶圆测试设备与待测晶圆之间的信号连接器。
测试前,把待测晶圆放到探针台上,对准好位置。测试过程中,探针卡通过大量极其精密的探针,与晶圆上的焊盘接触,实现芯片与测试设备之间的电信号传输。测试完成后,晶圆才会被切割成单颗芯片,进入下一阶段的生产流程。
三、探针卡的技术演进:从机械加工到MEMS
随着芯片越来越小,测试精度和密度要求越来越高,探针卡相关技术逐步从传统机械加工方式(其实母鸡传统加工方式是啥
),发展为MEMS工艺路线。MEMS是一种制造微米级微小器件的技术,综合了激光技术和光刻工艺。通过MEMS工艺,可以在微米级尺度上构建高度复杂、精密的一体化结构。是支撑高密度、高一致性探针阵列的关键技术基础。
四、国际出口管制
全球高端探针卡市场长期被美国FormFactor、意大利Technoprobe等少数公司垄断。高端探针卡是供应链中易于被卡脖子的环节。
它既是民用商业芯片量产的关键,也直接关系到用于超级计算机、高端国防等领域的先进芯片制造能力,因此被多国视为需严格管控的两用物项。作为被管制方和产业崛起方,我们的国产替代自主研发进程也越来越快。
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